Tworzenie się warstw powierzchniowych azotku i węglika tytan
Opis
W monografii sformułowano ściśle spójny opis i model tworzenia się warstw TiN, TiC i TiCN w różnych obszarach wyładowania jarzeniowego prądu stałego, w oparciu o badania przeprowadzone w oryginalnym urządzeniu PACVD z chłodzoną anodą.
Książka przeznaczona jest dla pracowników naukowych zajmujących się metodami CVD.
W monografii sformułowano ściśle spójny opis i model tworzenia się warstw TiN, TiC i TiCN w różnych obszarach wyładowania jarzeniowego prądu stałego, w oparciu o badania przeprowadzone w oryginalnym urządzeniu PACVD z chłodzoną anodą.
Książka przeznaczona jest dla pracowników naukowych zajmujących się metodami CVD.
