Practical MEMS - Ville Kaajakari - książka wyd. 2009

Opis

Praktyczny MEMS koncentruje się na analizie zasad działania mikrosystemów. Do najważniejszych cech książki należą:Podejście samouczka. Książka kładzie nacisk na projektowanie i analizę poprzez ponad 100 obliczonych przykładów obejmujących wszystkie aspekty projektowania MEMS.

Nacisk na design. Ta książka skupia się na działaniu mikrourządzenia. Po pierwsze, omówiono zasady działania fizycznego. Po drugie, równania projektowe są wyprowadzane i ilustrowane. Praktyczny MEMS jest doskonałym uzupełnieniem podręczników do tworzenia MEMS.

Ilościowa analiza wydajności. Krytyczne parametry wydajności dla danej aplikacji są identyfikowane i analizowane. Na przykład szczegółowo analizuje się poziom hałasu i wydajność energetyczną akcelerometrów piezorezystancyjnych i pojemnościowych. Omówiono analizę szumów mechanicznych, rezystancyjnych (termicznych i szumów 1/f) oraz obwodów.

Specyfikacje aplikacji. Różne aplikacje MEMS są porównywane z wymaganiami projektowymi komercyjnymi. Na przykład optyczny MEMS jest analizowany w kontekście skanera kodów kreskowych, wyświetlaczy projekcyjnych i specyfikacji optycznych połączeń krzyżowych.

Ekonomia MEMS i analiza rynku. Cały rozdział poświęcono analizie wydajności i kosztów urządzeń mikrofabrykowanych. Ponadto omówiono ekonomię rynku dla nowych zastosowań, takich jak RF MEMS.